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基板型半導体式センサ
半導体式センサと比べさらに高感度で、
特に塩素・硫化水素などに選択性があります。
携帯用や工業用商品に搭載されています。
基板型半導体式センサ

検知原理

構造図
構造図
出力特性
出力特性

厚さ数~数十μm程度の厚膜半導体表面におけるガス検知反応に伴う抵抗変化を測定。

特長

  • 1. 半導体式センサに比べさらに高感度です。
  • 2. ガスに対する選択性があります。(Cl2, H2S, EO等)
  • 3. 比較的高温で動作しているため、表面に「自己浄化作用」があり、再現性と長期安定性にすぐれています。

主な検知対象ガス

塩素、硫化水素、オゾン、ニオイ、エチレンオキサイド等

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