ガスセンサとは
ガスセンサとは
無色・無臭で、人の五感では気づくことのできないガス(気体)の有無や濃度を測るためのデバイス。
様々な検知方式があり、測るガスの種類や濃度により使い分けがされています。
| 主な分類 | 固体式センサ | 電気化学式センサ | 赤外線式センサ |
|---|---|---|---|
| ガス検知の しくみ |
電流を流すことで高温に保った検知素子とガスとの反応による電気伝導度変化(半導体式)やガス接触による素子温度変化を測る仕組み(接触燃焼式・熱伝導式) | 貴金属触媒電極上でガスを特定の電位で電解し、その際に生ずる電解電流を測る仕組み | ガスの赤外線吸収スペクトルの波長の違いと吸収量からガスの種類の識別と濃度を測定する仕組み |
| 代表的な ガスセンサ |
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| 検知が得意な ガス |
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ガスセンサラインナップ
高温度検知
低温度検知
高
低
ガス検知濃度
消費電力
MEMS技術を応用したガスセンサについて
MEMS技術とは、Micro Electro Mechanical Systemsの略で、半導体製造で用いられる微細加工技術です。
当社はこの技術をいち早くガスセンサに応用し、独自の技術により可燃性ガス用MEMSガスセンサの開発を実現しました。
現在この技術を応用したガスセンサのラインナップの拡充を進めています。
MEMS技術のメリット
- 固体式センサをより小電力化できる
- センサ自体が小型化でき、小型デバイスへの搭載が可能となる
- 低コストで、量産性に優れている
電池式の家庭用ガス警報器の開発を実現させたMEMS熱線型半導体式センサ
固体式センサ
MEMS気体
熱伝導式(MCT)

気体熱伝導式(CT)センサにMEMS技術を応用し、小型・省電力を実現した高濃度ガス用センサ。検知原理は気体熱伝導式(CT)と同じです。
特徴
- 100%までの高濃度ガスの検出に適しています。
- ヒーターが小型のため熱応答が早く、起動安定性ガス応答性に優れています。
構造図
用途






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