携帯用ガス検知器

半導体材料ガス検知器 XPS-7

用途

半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。

特長

  • ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、1台で様々な半導体材料ガスを検知可能。
  • カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減。
  • 重さわずか1.3kgの小型•軽量タイプ。
  • ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。

仕様

型式
XPS-7
検知対象ガス
半導体材料ガス
ガス採気方式
自動吸引式
検知原理
定電位電解式
検知範囲
仕様による
分解能※1
フルスケールの100分の1又は、200分の1表示
指示精度※2
FS±10%以内
警報方式
ブザー(断続音)、アラームランプ点滅
応答時間※3
60秒以内
使用温度範囲
0℃~40℃
電源
単3形アルカリ乾電池4本 又はAC専用アダプタ
連続使用時間※4
アルカリ乾電池使用時:12時間以上(無警報時、20℃の場合)
外形寸法
W62×H150×D128mm(突起部を除く)
重量
約1.3kg
標準付属品
ショルダーベルト、単3形アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚
オプション
AC専用アダプタ(AC100V/DC6V)、センサ専用通電台、ログデータ収集キット

※1 ガス種によってフルスケールが異なります。
※2 同一測定条件による。
※3 60%応答。
※4 環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。

指定可能ガス

アルシン【AsH3】,アンモニア【NH3】,一酸化炭素【CO】,一酸化窒素【NO】,塩化水素【HCI】,塩素【Cl2】,オゾン【O3】,三フッ化塩素【ClF3】,ジクロルシラン【SiH2Cl2】,ジシラン【Si2H6】,ジボラン【B2H6】,臭化水素【HBr】,セレン化水素【H2Se】,二酸化硫黄【SO2】,二酸化窒素【NO2】,半導体材料ガス,フッ化水素【HF】,フッ素【F2】,ホスフィン【PH3】,モノゲルマン【GeH4】,モノシラン【SiH4】,硫化水素【H2S】

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