工業用定置式ガス検知警報装置

コスモス式ガス検知部 PS-7

特長

  • センサユニットの交換によりさまざまなガスを一台で検知可能な半導体材料ガス用ガス検知部。
  • センサユニットは校正済みでお届けするので、現場でのガス校正が不要。また、センサユニットの交換は工具不要で簡単。
  • 小型・軽量のコンパクト設計。
  • LCD表示でガス濃度、警報状態、エラーメッセージをわかりやすく表示。
  • サンプリング流量の自動制御機能搭載。
  • 設定と異なるセンサユニットが挿入された場合、異常をお知らせするセンサユニットの誤挿入防止機能付き。
  • PDAを接続することにより、検知部内に蓄積されたデータの取り込みが可能。
  • コンバータユニット(オプション)使用で、NF3やCCl2の検知が可能。
  • CE規格適合
  • SEMI規格適合

仕様

型式
PS-7
検知原理
定電位電解式、熱線型半導体式、隔膜ガルバニ電池式
サンプリング方式
ポンプ吸引式(0.5L/min 吸引流量 自動制御)
サンプリング配管※1
テフロン 外径6内径4mm、配管距離は20m以内
ガス濃度表示
液晶デジタル4桁表示(単位付き)20分割バーグラフ
警 報 接 点
● ガス警報(1段及び2段)
・警報
:赤LEDランプ点滅
:液晶画面 1段目:ALARM1 2段目:ALARM1、ALARM2表示
● 流量低下警報
・目詰まり表示:液晶画面 フローサインが低速回転
・警報
:黄LEDランプ点滅
:液晶画面 FLOW表示及びフローサインが回転停止
● センサトラブル警報/センサ誤挿入警報
・警報
:黄LEDランプ点滅
:液晶画面 SENS.表示
● 熱分解炉断線警報※2
・警報
:黄LEDランプ点滅
:液晶画面 CONV.表示
外部出力
・ガス濃度アナログ出力 DC4-20mA(電源とのマイナスと共通)
・ガス警報接点(1段及び2段) 1a無電圧接点/自動復帰
・トラブル警報接点 (オープンコレクタ/自動復帰)
適合ケーブル
制御用シールドケーブル(Ø8~11mm)×2 3芯又は4芯
使用温度湿度範囲
0℃~40℃(但し、急激な変化のないこと)、
30~85%RH(但し、結露なきこと)
使用電源
DC24V±10%
消費電力
約7W
寸法
W62×H124×D143mm(オプションと突起部を除く)
重量
約1.0kg
取付方法
壁掛式

※1 テフロン推奨。但し、吸着性の強いガスの場合、使用状況により異なるため、別途お問い合わせ下さい。上記仕様は改良の為、予告なしに変更される場合があります。
※2 コンバータユニット付のみ。

対応ガス種(センサユニット)一覧

ガス種
フルスケール
検知原理
ユニット型式
SiH4
5/25ppm
定電位電解式
CDS-7
PH3
1ppm
B2H6
500ppb
AsH3
250ppb
H2Se
250ppb
Si2H6
25ppm
SiH2Cl2
25ppm
GeH4
1ppm
NH3
100ppm
HF
10ppm
PF3
10ppm
HCl
5/25ppm
HBr
10ppm
F2
5ppm
Cl2
5ppm
ClF3
1ppm
O3
1ppm
CO
250ppm
H2S
50ppm
NF3
100ppm
定電位電解式
(コンバータユニット対応)
CCl4
100ppm
H2
500/1000ppm
熱線型半導体式
CHS-7
O2
25vol%
隔膜ガルバニ電池式
COS-7

 

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