コスモス式ガス検知部 PS-7
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- 型式
- PS-7
- 検知対象ガス
- 半導体材料ガス、水素、酸素等
- 検知原理
- 定電位電解式、熱線型半導体式、隔膜ガルバニ電池式
- ガス濃度表示
- 液晶デジタル4桁表示
- 外形寸法
- W62×H124×D143mm（オプションと突起部を除く）
センサユニットの交換によりさまざまなガスを一台で検知可能な半導体材料ガス用ガス検知部。
特長
- センサユニットは校正済みでお届けするので、現場でのガス校正が不要。また、センサユニットの交換は工具不要で簡単。
- 小型・軽量のコンパクト設計。
- NF3検知に対応。
- LCD表示でガス濃度、警報状態、エラーメッセージをわかりやすく表示。
- サンプリング流量の自動制御機能搭載。
- 設定と異なるセンサユニットが挿入された場合、異常をお知らせするセンサユニットの誤挿入防止機能付き。
- PS-7-MはModbus(RS-485/Ethernet)に対応 ※Ethernet通信はPoEに対応
- CE規格適合
- SEMI規格適合
仕様
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型式
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PS-7
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検知原理
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定電位電解式、熱線型半導体式、隔膜ガルバニ電池式
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サンプリング方式
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ポンプ吸引式（0.5L/min 吸引流量 自動制御）
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サンプリング配管※1
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テフロン 外径6内径4mm、配管距離は20m以内
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ガス濃度表示
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液晶デジタル4桁表示（単位付き）20分割バーグラフ
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警 報 接 点
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● ガス警報（1段及び2段） ・警報 ：赤LEDランプ点滅 ：液晶画面 1段目：ALARM1 2段目：ALARM1、ALARM2表示 ● 流量低下警報 ・目詰まり表示：液晶画面 フローサインが低速回転 ・警報 ：黄LEDランプ点滅 ：液晶画面 FLOW表示及びフローサインが回転停止 ● センサトラブル警報／センサ誤挿入警報 ・警報 ：黄LEDランプ点滅 ：液晶画面 SENS.表示 ● 熱分解炉断線警報※2 ・警報 ：黄LEDランプ点滅 ：液晶画面 CONV.表示 |
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外部出力
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・ガス濃度アナログ出力 DC4－20mA（電源とのマイナスと共通）
・ガス警報接点（1段及び2段） 1a無電圧接点/自動復帰 ・トラブル警報接点 （オープンコレクタ/自動復帰） |
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適合ケーブル
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制御用シールドケーブル（Ø8～11mm）×2 3芯又は4芯
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使用温度湿度範囲
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0℃～40℃（但し、急激な変化のないこと）、
30～85％RH（但し、結露なきこと） |
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使用電源
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DC24V±10％
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消費電力
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約7W
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寸法
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W62×H124×D143mm（オプションと突起部を除く） |
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重量
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約1.0kg |
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取付方法
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壁掛式 |
※1 テフロン推奨。但し、吸着性の強いガスの場合、使用状況により異なるため、別途お問い合わせ下さい。上記仕様は改良の為、予告なしに変更される場合があります。
※2 コンバータユニット付のみ。
対応ガス種（センサユニット）一覧
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ガス種
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フルスケール
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検知原理
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ユニット型式
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SiH4
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5/25ppm
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定電位電解式
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CDS-7
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PH3
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1ppm
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B2H6
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500ppb
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AsH3
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250ppb
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H2Se
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250ppb
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Si2H6
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25ppm
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SiH2Cl2
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25ppm
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GeH4
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1ppm
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NH3
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100ppm
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HF
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10ppm
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PF3
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10ppm
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HCl
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5/25ppm
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HBr
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10ppm
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F2
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5ppm
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Cl2
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5ppm
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ClF3
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1ppm
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O3
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1ppm
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CO
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250ppm
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H2S
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50ppm
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NF3
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100ppm
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定電位電解式
（コンバータユニット対応） |
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H2
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500/1000ppm
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熱線型半導体式
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CHS-7
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O2
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25vol%
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隔膜ガルバニ電池式
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COS-7
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