コスモス式ガス検知部
PS-8シリーズ
中毒防止
センサユニットの交換で一台で様々なガス種に対応
半導体業界
半導体製造の現場では、毒性や可燃性の特性をもつ多種多様なガスが多く用いられるため、ガス漏えいや酸欠に注意が必要です。
- お役立ちポイント
- 半導体工場ではガス検知器の点検時に使用する点検ガスも汚染要因の一つとなります。「コスモス式」は、現場でガスかけによる校正が不要なため、わずかな不純物でも大きな影響が出る半導体工場で役立ちます。
各現場でのリスクと活躍する製品
薄膜形成
現場でのリスク
中毒防止
シリコンウェーハ上に酸化膜や窒化膜を形成する工程で、酸素やキャリアガスを使用します。それらガスの漏えいによる中毒のリスクがあります。
- 使用ガス例
- SiH4、NH3、SiH2Cl2、H2、O2
活躍する製品
エッチング
現場でのリスク
中毒防止
エッチングは製造工程でできた不要部分を除去する工程で、薬剤や特殊ガスを使用するため、漏えいによる中毒のリスクがあります。
- 使用ガス例
- HF、SiF4、C4F6、SF6、HCL、HBr、NF3、Cl2、BCl3
活躍する製品
イオン注入
現場でのリスク
中毒防止
イオン注入はシリコンウェーハに不純物を注入する工程で、半導体材料ガスを使用するため、漏えいによる中毒のリスクがあります。
- 使用ガス例
- BF3、AsH3、PH3
活躍する製品
洗浄
現場でのリスク
中毒防止
環境管理
各工程で発生する有機物や金属、微細な塵埃（パーティクル）などの汚染物質を除去する洗浄工程では、その際に使用されるガスの漏えいによる中毒リスクがあります。
- 使用ガス例
- IPA、HF、O3、NH3、NF3
活躍する製品
クリーンルーム
現場でのリスク
中毒防止
酸欠防止
半導体製造装置で使用される各種ガスの漏えいによる酸欠、中毒のリスクがあります。
- 使用ガス例
- O2、CH4、その他各工程で使用されるガス
活躍する製品
コスモス式ガス検知部
PS-8シリーズ
中毒防止
酸欠防止
センサユニットの交換で一台で様々なガス種に対応
酸素検知警報器
KS-7O
酸欠防止
小型・軽量、検知部と警報部が一体型の一点式ガス検知警報器
アルシンガス用化学発光方式ガス検知警報器
CLC-870
中毒防止
化学発光方式で1ppbから超高感度にアルシンガスを検知
濃度表示機能付きガス検知部
KD-12シリーズ／PD-12シリーズ
中毒防止
酸欠防止
現場でガス濃度の確認が可能
半導体材料ガス検知器
XPS-7II
中毒防止
酸欠防止
NF3対応の小型のポータブルガス検知器
複合型ガス検知器
XP-3368II-W
酸欠防止
可燃性ガスと酸素の検知に
酸素計
XO-2200
酸欠防止
作業の邪魔にならない小型の装着タイプ