携帯型

半導体材料ガス検知器 XPS-7II

表示画面(通常時)

表示画面(警報時)

センサがユニット式で交換が簡単

特長

  • センサユニット交換方式のポータブル型半導体材料ガス検知器
  • センサユニットはお手元で交換可能で、様々なガス種を1台で検知可能
  • NF3検知に対応したポータブル型吸引式ガス検知器としては、世界最小サイズ
  • ガス検知器の校正が不要で、メンテナンスの時間とコストを削減
  • 警報音は、ガス濃度変化に応じてゆっくりとした断続音が徐々に早くなり、高濃度になると連続音でお知らせ

用途

半導体工場における半導体材料ガスの漏洩検知に

 

◆ポータブルタイプの半導体材料ガス探知器は XP-703DIII

◆定置型(センサユニット交換方式)の半導体材料ガス検知部は PS-7

仕様

対象ガス 半導体材料ガス
検知原理 定電位電解式
ガス採取方式 自動吸引式
検知範囲 仕様による
警報 【警報設定値】
仕様による
【警報方式】
ブザー鳴動、警報ランプ(赤色)点滅およびLCD 点滅表示
応答時間 60秒以内(60%応答)
寸法 W62×H150×D128mm(突起部を除く)
質量 約1.3kg
使用温度範囲 0℃~+40℃
連続使用時間 12時間以上(NF3センサユニット使用時は8時間以上)
※アルカリ乾電池使用、20℃、無警報時。環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なります

 

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