携帯用ガス検知器

半導体材料ガス探知器 XP-703DIII

用途

半導体工場等毒性ガスを使用する現場でのガス漏洩検査に。水素関連設備の保安に。

特長

  • 半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
  • ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
  • 1台でさまざまな半導体材料ガス(アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など)に対応。
  • 従来品より大幅に小型・軽量化を実現。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
  • 電池残量やポンプの状態など、機器の状態がわかりやすいLCD画面を搭載。
  • アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭載し、作業中に警報がわかりやすい。
  • 保護等級IP22(JIS C 0920)相当※。 ※レザーケース装着時

仕様

型式
XP-703DIII
検知対象ガス
半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素)
ガス採気方式
自動吸引式
検知原理
熱線型半導体式
アルシン
ホスフィン
ジボラン
シラン
水 素
検知可能
漏洩量
2.53×10-7
Pa•m3/s
1.52×10-7
Pa•m3/s
1.01×10-7
Pa•m3/s
2.53×10-7
Pa•m3/s
5.07×10-7
Pa•m3/s
検知可能濃度
0.5 ppm
0.3 ppm 0.2 ppm 0.5 ppm 1.0 ppm
応答時間
10秒以内(探知可能濃度の3倍の濃度のガスに対して、感度設定[4])
表示方式
断続音及びアラームランプの点滅
電源
単3形アルカリ乾電池2本
連続使用時間※1
約12時間(単3形アルカリ乾電池)[常温・常湿において]
保護等級※2
IP22相当
使用温度範囲
0℃~+40℃ 85%RH以下(但し、結露なきこと)
外形寸法
W38×H130×D32mm(突起物を除く)
質量
約190g(電池、レザーケース含む)
標準付属品
レザーケース、ドレンフィルタ、交換用フィルタエレメント、アタッチメント、点検ガス、ハンドストラップ、単3形アルカリ乾電池2本 等

※1 環境条件、使用条件、電池メーカーなどにより異なる場合があります。
※2 レザーケース装着の場合。

指定可能ガス

アルシン【AsH3】,ジクロルシラン【SiH2Cl2】,ジボラン【B2H6】,水素【H2】,半導体材料ガス,ホスフィン【PH3】,R407C,R410A

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