携帯用ガス検知器

半導体材料ガス探知器 XP-703D

生産終了

用途

半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査に。

特長

  • 半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
  • ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易

仕様

型式
XP-703D
検知対象ガス
半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シランなど)
ガス採気方式
自動吸引式
検知原理
熱線型半導体式
アルシン
ホスフィン
ジボラン
シラン
水 素
検知可能
漏洩量
1.0×10-7
Pa•m3/s
1.5×10-7
Pa•m3/s
0.5×10-7
Pa•m3/s
2.5×10-7
Pa•m3/s
5×10-7
Pa•m3/s
検知可能濃度
0.2 ppm
0.3 ppm 0.1 ppm 0.5 ppm 1.0 ppm
応答時間
10秒
表示方式
ブザー音の断続およびランプの点滅
電源※1
単3形マンガン乾電池4本
連続使用時間
アルカリ乾電池使用時:約9時間
マンガン乾電池使用時:約3時間
使用温度範囲
0℃~40℃
外形寸法
W68×H155×D32mm
重量
約400g
標準付属品
レザーケース、ドレンフィルタ、フィルタエレメント、点検ガス、標準アタッチメント、単3形マンガン乾電池4本
オプション
Ni-Cd電池専用充電器、イヤホン

※1 アルカリ電池、Ni-Cd電池も使用可能。

指定可能ガス

アルシン【AsH3】,ジクロルシラン【SiH2Cl2】,ジボラン【B2H6】,水素【H2】,半導体材料ガス,ホスフィン【PH3】,R407C,R410A,

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