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新コスモス電機独自の触媒技術！NF3用で好評の熱分解コンバータ一体型センサの技術を応用した新製品が登場

「世界中のガス事故をなくす」を大目標に掲げるガス警報器・検知器メーカーの新コスモス電機株式会社（本社：大阪市淀川区、代表取締役社長：髙橋良典）は、半導体⼯場向けのガス検知器であるコスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」等に搭載するガスセンサ「CDS-7シリーズ」のラインナップとして硫化カルボニル(COS)用センサを開発、2025年10月1日（水）より発売を開始しました。

新製品　硫化カルボニル(COS)用センサ「CDS-7シリーズ」

 

CDS-7シリーズ等のセンサが搭載されるPS-8シリーズ

 

開発の経緯

半導体製造工場では製造工程において、人体に危険な特性を持つ多種多様なガスを扱っており多数のガス検知警報装置の設置が必要となります。また、一般高圧ガス保安規則関係例示基準では、「特殊高圧ガスに係るガス漏えい検知警報設備の指示値の校正は､6ヶ月に1回以上行うこと｡」と定められています。

 

 

新コスモス電機では、半導体工場向けガス検知部として1997年に「PS-6」、2003年に「PS-7」、2024年に「PS-8シリーズ」を開発しました。この製品シリーズは、校正済みのガスセンサを交換するだけで現場でのガス校正が不要で、メンテナンスの手間やランニングコストを低減できる「コスモス式」を業界に先駆けて採用しました。その特徴が好評で、国内にとどまらず海外の半導体工場でも多くのお客様にご使用いただいております。

 

ガスセンサを交換する「コスモス式」

 

このコスモス式で使用されているガスセンサの中でも、三フッ化窒素（NF3）や硫化カルボニル（COS）についてはガスの特性上、ガスを検知する前に熱分解をする必要があります。その熱分解をするための装置（熱分解コンバータ）は、装置自体がガス検知部と同じかそれ以上の大きさになる場合もありました。また、メンテナンスに使用されるアルコールや装置で使用（補充）される熱媒体にガスセンサが干渉しないよう前処理するフィルタ装置も一緒に設置する必要があるなど、他のガス種よりガス検知部の設置面積が大きくなっていました。半導体工場では、数百台以上のガス検知部が設置されることもあり、設置場所の確保に大きな課題がありました。

そのような中、新コスモス電機は、2019年にNF3用として熱分解コンバータが内蔵され一体型となった触媒転化式定電位電解式センサを初めて開発しました。サイズや機能は他のガス用センサと同じで、熱分解コンバータに必要なスペースが不要となり、省スペースを実現しました。今回、この技術を応用し、「CDS-7シリーズ」の新たなラインナップとして硫化カルボニル(COS)用センサを発売しました。

 

硫化カルボニル(COS)用センサ「CDS-7シリーズ」の特長

熱分解コンバータとパージフィルタが不要

新コスモス電機独自の触媒技術で、熱分解をするためのヒータ部分を縮小し、センサ内に収納することが可能となりました。また、アルコールの干渉も低減した設計でパージフィルタが不要です。

 

すでに多くご採用いただいているNF3用センサをベースとし設計されており、十分な実績と信頼性があります。

 

【コスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」紹介動画】

 

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